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几个核心元素的晶圆划切环节!
发布时间:2021-12-22 点击数:1026

切割机以强磨削为切割机制,空气静压电主轴为执行元件,以每分钟3000060000的速度划定切割晶片的切割区域。承载晶片的工作台沿着叶片与晶片接触点之间的切割线以一定的速度直线移动,以分割每个带有独立电气的芯片。在这个过程中,水源被冷却和保护。

晶圆切割四要素,联动工作,缺一不可。原理很简单,精细的工作却不那么容易做。

一、主轴

砂轮划片机主轴采用空气静压支撑的电主轴。目前使用的主轴有两种,即直流主轴和交流主轴。

1、直流主轴

①为了提高冷却效果,采用轴向强制通风冷却或热管冷却。

②恒转矩范围低于基本速度,恒功率范围高于基本速度。

③晶体管脉宽调制调速系统主要用于调速。通常会配备检测元件进行反馈。

2、水源

主轴冷却水和切割冷却水是划片机使用的两种水源。

3、主轴冷却水

顾名思义,主轴冷却水的主要功能是冷却和保护主轴,并在主轴内循环。必须使用去离子水,否则会堵塞主轴内部。冷却水温度应恒定为室温,并可配备恒温水箱。否则,刀痕在切割过程中容易发生偏移。空气主轴是一个关键部件,需要定期检查主轴水一般为6个月),以防止水垢堵塞管道,损坏主轴电机。

4、切割冷却水

切割冷却水,主要采用去离子水,可根据产品需要添加二氧化碳气体等特殊附件,以改变水质电阻值。

5、软刀

软刀需要用法兰固定。其优点是刀具暴露量大,可加工较厚的产品,可通过更换法兰连续使用,性价比高。但是,采用这种固定方法后,刀具需要研磨才能达到真正的圆形效果,刀具与法兰的接触部分会有轻微的跳动,切割效果不好。

6、硬刀

硬刀通过高温高压将刀体固定在特殊法兰上,出厂时可确认为真圆。由于刀体与法兰的融合,可以加工优质产品,但生产方式决定了刀片的暴露量不能太大。通常,这种刀片的暴露量为030115mm较小或较大的暴露量需要特殊定制。硬刀不能加工较厚的产品,这方面有局限性。

刀具选择的基本原则:即材料越硬,刀体材料越软,材料越软,刀体材料越硬。

比如硬脆材料的选择越硬,切割时就会出现背塌、背裂现象。

根据坍塌边缘的要求和材料的性质,选择合适的刀体粘度、材料软硬度、集中度、金刚砂颗粒尺寸等。

砂轮切割机可以切割的材料很多,不同性能的材料切割工艺不同,每个参数都可以与切割的质量和效率有关。因此,在切割前分析所有因素,选择准确的叶片是一个很重要的步骤。